[发明专利]研磨头

摘要

本发明提供研磨头，能够使承载体根据研磨垫的表面状态良好地进行跟随，能够高精度地研磨工件。研磨头具有：头主体(12)；承载体(14)，其借助于柔性的隔膜(16)而与头主体连结，在下表面侧保持工件；压力室(18)，其设置成被头主体下表面、隔膜和承载体上表面包围；流体供给部(47)，其对压力室供给流体；直动导引件(40)，其具有外侧筒体(41)和花键轴(42)，外侧筒体被固定在头主体的旋转轴线上，花键轴配设在外侧筒体内且能够沿轴线方向活动自如，且该花键轴相对于外侧筒体以轴线为中心的旋转被限制，头主体的旋转力经由外侧筒体被传递至花键轴；以及旋转传递板(45)，其配设在花键轴的下端部与承载体上表面之间，将承载体支承为倾动自如，并且将花键轴的旋转力传递给承载体。

主权项

1.一种研磨头，其在下表面保持工件而旋转，将工件压靠在定盘的研磨垫上从而研磨工件，该研磨头的特征在于，具有：头主体；承载体，其借助于呈环状的柔性的隔膜而与该头主体连结，在下表面侧保持所述工件；压力室，其设置成被所述头主体的下表面、所述隔膜和所述承载体的上表面包围；流体供给部，其对该压力室供给流体；直动导引件，其具有外侧筒体和花键轴，该外侧筒体与所述头主体的旋转轴线同轴配置地固定于所述头主体，该花键轴以这样的方式配置在该外侧筒体内：能够沿轴线方向活动自如，并且该花键轴相对于所述外侧筒体以轴线为中心的旋转被限制，所述头主体的旋转力经由所述外侧筒体而被传递至该花键轴；以及旋转传递板，其配设在所述花键轴的下端部与所述承载体的上表面之间，将所述承载体支承为倾动自如，并且将所述花键轴的旋转力传递给所述承载体。