[发明专利]一种气浮式平面度检测装置

摘要

本发明涉及一种气浮式平面度检测装置；包括底座、轴套组件、气浮轴及旋转吸盘，底座设有气孔和安装槽，安装槽内设置有底座镶件，底座镶件与安装槽形成环形气槽，底座镶件还设置有斜向气孔，环形气槽与气孔相连通，轴套组件套设于气浮轴外部，气浮轴设置有驱动气槽，并与驱动气槽相互形成气动联动，旋转吸盘通过螺丝安装于气浮轴上，轴套组件设置有气路通道，气路通道与气孔相互连通；本发明的有益效果体现为采用气浮式结构，通过引入高压气体，使气浮轴悬浮于装置内腔之中，通过气浮轴带动吸盘旋转，具有精度高、稳定性好、寿命长等特点，并采用可调气源带动气浮轴旋转，避免了人为因素的干扰，提高检测精度的同时提高了检测效率。

主权项

一种气浮式平面度检测装置，其特征在于：包括底座、轴套组件、气浮轴及旋转吸盘，所述底座设置有气孔和安装槽，所述气孔安装有外接于气源的接头，所述安装槽内设置有底座镶件，所述底座镶件与所述安装槽形成环形气槽，所述底座镶件一体成型地设置有斜向气孔，所述环形气槽与所述气孔相连通，所述底座与所述底座镶件均设置有安装孔，所述轴套组件套设于所述气浮轴外部，所述气浮轴均安装于所述安装孔内，所述气浮轴设置有驱动气槽，所述斜向气孔与所述安装孔相连通，并与所述驱动气槽相互形成气动联动，所述旋转吸盘通过固定螺丝安装于所述气浮轴的顶端，随所述气浮轴进行旋转运动，所述轴套组件设置有气路通道，所述气路通道与所述气孔相互连通。