[发明专利]双导轨测量平台及其测量目标坐标的方法有效
| 申请号： | 201711447974.4 | 申请日： | 2017-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN108151648B | 公开（公告）日： | 2020-04-14 |
| 发明（设计）人： | 江浩 | 申请（专利权）人： | 苏州乐佰图信息技术有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 唐清凯 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市工业*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种双导轨测量平台，包括：两个X轴导轨，两个X轴导轨的一侧分别固定有X轴主光栅尺和X轴副光栅尺；X方向移动平台，设有在移动时读取X轴主光栅尺的第一主读数头和读取X轴副光栅尺的第一副读数头；两个Y轴导轨，由X方向移动平台带动所述Y轴导轨相对X轴导轨前进，两个Y轴导轨的一侧分别固定有Y轴主光栅尺和Y轴副光栅尺；Y方向移动平台，设有在移动时读取Y轴主光栅尺的第一主读数头和读取Y轴副光栅尺的第一副读数头。利用副光栅尺来调节目标的坐标，获得更为贴近实际的精准的目标的坐标，从而消除XY平台由于行进过程中的扭曲带来的检测精度下降。此外还提出了一种基于上述平台的测量目标坐标的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 导轨 测量 平台 及其 目标 标的 方法 | ||
【主权项】：
一种双导轨测量平台，其特征在于，包括：间隔设置的两个X轴导轨，两个X轴导轨的一侧分别固定有X轴主光栅尺和X轴副光栅尺；X方向移动平台，与两个X轴导轨相配合，设有在移动时读取所述X轴主光栅尺的第一主读数头和读取所述X轴副光栅尺的第一副读数头；间隔设置的两个Y轴导轨，由所述X方向移动平台带动所述Y轴导轨相对X轴导轨前进，两个Y轴导轨的一侧分别固定有Y轴主光栅尺和Y轴副光栅尺；Y方向移动平台，与两个Y轴导轨相配合，设有在移动时读取所述Y轴主光栅尺的第二主读数头和读取所述Y轴副光栅尺的第二副读数头。
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