[发明专利]透明脆性材料加工设备有效
| 申请号： | 201711448374.X | 申请日： | 2017-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN107953038B | 公开（公告）日： | 2023-10-20 |
| 发明（设计）人： | 周云申;沈丹鸿;周蕊 | 申请（专利权）人： | 常州英诺激光科技有限公司;江苏微纳激光应用技术研究院有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/38 | 分类号： | B23K26/38;B23K26/402;B23K26/06;B23K26/70 |
| 代理公司： | 深圳市精英专利事务所 44242 | 代理人： | 葛勤 |
| 地址： | 213000 江苏省常州市武进区常*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种透明脆性材料加工设备，包括控制模块、激光切割模块、超声聚焦模块和加工平台，激光切割模块包括激光发生器，及沿激光光路方向依次设置的激光整形单元、激光指向传输单元、激光扫描单元、激光聚焦单元，样品加工平台设置于激光聚焦单元的下方，超声聚焦模块与激光聚焦单元共轴设置，加工平台可多轴自由运动，控制模块用于控制各部件的协同工作。本发明的有益效果在于：提供了一种透明脆性材料的加工设备，该加工设备采用聚焦激光束对透明脆性材料进行加工，同时采用超声聚焦系统产生聚焦超声波将激光加工产生的材料碎片与材料本体分离，采用该设备加工的材料切割壁光滑无崩裂口，无锥度，大大提高了透明脆性材料加工的成功率。 | ||
| 搜索关键词： | 透明 脆性 材料 加工 设备 | ||
【主权项】：
一种透明脆性材料加工设备，其特征在于：包括控制模块、激光切割模块、超声聚焦模块和加工平台，所述激光切割模块包括激光发生器，及沿激光光路方向依次设置的激光整形单元、激光指向传输单元、激光扫描单元和激光聚焦单元，所述加工平台设置于激光聚焦单元的下方，所述超声聚焦模块与所述激光聚焦单元共轴设置，所述加工平台可多轴自由运动，所述控制模块用于控制激光切割模块和超声聚焦模块工作状态及加工平台的位移。
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