[发明专利]一种新型PDMS微流控芯片键合方法在审
| 申请号： | 201711450486.9 | 申请日： | 2017-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN108178123A | 公开（公告）日： | 2018-06-19 |
| 发明（设计）人： | 冯昌喜;张文杰 | 申请（专利权）人： | 北京百奥芯科技有限公司 |
| 主分类号： | B81C3/00 | 分类号： | B81C3/00;B01L3/00 |
| 代理公司： | 北京创遇知识产权代理有限公司 11577 | 代理人： | 李芙蓉;冯建基 |
| 地址： | 100025 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种新型PDMS微流控芯片键合方法，包括如下步骤：将玻璃和PDMS芯片分别经过等离子处理；在经过等离子处理后的玻璃一面旋涂一层加入固化剂的PDMS液体；然后将旋涂PDMS液体的玻璃在转速为1000rpm的匀胶机上匀胶30～60s，该PDMS液体附着在玻璃上形成PDMS薄膜；然后将附有PDMS薄膜的玻璃进行热处理后该PDMS液体固化；将玻璃经PDMS处理的一面与经过等离子处理的PDMS芯片贴合即可实现键合。该方法选材更加宽泛，并且对于玻璃表面的洁净程度要求不高，能够减少清洗过程中水和其他化学试剂如丙酮、乙醇等的消耗，进而节约清洗成本；这种芯片由于微沟道四周均是PDMS疏水介质层，能够在油包水制备微滴等对于微通道有疏水性要求的技术领域得以应用。 | ||
| 搜索关键词： | 玻璃 等离子处理 键合 微流控芯片 旋涂 匀胶 疏水介质层 热处理 玻璃表面 程度要求 化学试剂 清洗过程 液体附着 液体固化 固化剂 疏水性 微沟道 微通道 油包水 乙醇 丙酮 贴合 微滴 制备 清洗 选材 洁净 芯片 消耗 节约 应用 | ||
【主权项】：
1.一种新型PDMS微流控芯片键合方法，其特征在于，所述方法包括如下步骤：(1)将玻璃和PDMS芯片分别经过等离子处理；(2)在经过等离子处理后的玻璃一面旋涂一层加入固化剂的PDMS液体，再在转速为1000rpm的匀胶机上匀胶30～60s，该PDMS液体附着在玻璃上形成PDMS薄膜；(3)然后将附有PDMS薄膜的玻璃进行热处理，使该PDMS液体固化；(4)将玻璃经PDMS处理的一面与经过等离子处理的PDMS芯片贴合即可实现键合。
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