[发明专利]适用于脉冲激光镀膜的防污装置及其脉冲激光镀膜装置有效
| 申请号： | 201711451129.4 | 申请日： | 2017-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN108277461B | 公开（公告）日： | 2020-07-28 |
| 发明（设计）人： | 王松;朱佳敏;陈思侃;常同旭 | 申请（专利权）人： | 上海超导科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/28 | 分类号： | C23C14/28;C23C14/08;C23C14/56 |
| 代理公司： | 上海段和段律师事务所 31334 | 代理人： | 李佳俊 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种适用于脉冲激光镀膜的防污装置及其脉冲激光镀膜装置，包括光路系统(2)；所述光路系统(2)包括挡板系统(213)；挡板系统(213)包括多层挡板(2131)、挡筒(2132)；挡板(2131)设置有通光孔(21311)；多层挡板(2131)在挡筒(2132)内部沿轴向依次间隔排列；挡板(2131)边缘与挡筒(2132)内壁之间气密连接；多层挡板(2131)的通光孔(21311)之间同轴设置或者不同轴设置，且形成直线通路，允许一沿直线传播的光束通过。本发明能够有效地阻止粉尘微粒的扩散，降低了激光通过光学镜片时的损耗。 | ||
| 搜索关键词： | 适用于 脉冲 激光 镀膜 防污 装置 及其 | ||
【主权项】：
1.一种适用于脉冲激光镀膜的防污装置，其特征在于，包括光路系统(2)；所述光路系统(2)包括挡板系统(213)；挡板系统(213)包括多层挡板(2131)、挡筒(2132)；挡板(2131)设置有通光孔(21311)；多层挡板(2131)在挡筒(2132)内部沿轴向依次间隔排列；挡板(2131)边缘与挡筒(2132)内壁之间气密连接；多层挡板(2131)的通光孔(21311)之间同轴设置或者不同轴设置，且形成直线通路，允许一沿直线传播的光束通过。
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