[发明专利]一种在料舟表面沉积金属涂层的方法

摘要

本发明属于粉末材料制备技术领域，一种在料舟表面沉积金属涂层的方法，首先去除料舟舟体表面毛刺，之后对料舟及镀膜工装进行清洗，最后进行涂层沉积，采用在与氧化物粉末接触的料舟材料表面沉积微米厚度的目标金属涂层，该涂层可保持良好的界面结合力，且覆盖完整，并能隔绝粉末还原时原料粉末长时间直接接触料舟，导致金属粉末在还原过程中受到杂质污染。该发明可解决同质金属粉末材料料舟不能承受推舟时推力，以及铺垫同介质金属片易内裂等弊端。在保证金属粉末的高纯度品质前提下，可实现高产能效率、低成本和连续生产。

主权项

1.一种在料舟表面沉积金属涂层的方法，其特征在于，该方法包括如下步骤：步骤1)去除料舟舟体表面毛刺；步骤2)对料舟及镀膜工装进行清洗；步骤3)涂层沉积，具体步骤为步骤3.1)将料舟安装到镀膜工装上，露出要沉积涂层的部位；步骤3.2)将料舟及镀膜工装安装至真空镀膜设备中，实现公转自转；步骤3.3)抽真空至真空度优于3×10^‑3Pa后，开启加热电源进行烘烤除气，直至加热温度达到200℃后，保温至真空镀膜设备真空度优于3×10^‑3Pa；步骤3.4)采用自辉光进行氩离子辉光溅射刻蚀清洗，向真空室送入氩气直到真空室的真空度在1～10Pa，脉冲负偏压1000V，占空比80％，持续5～20分钟；步骤3.5)采用小多弧金属Mo靶，向真空室通入氩气直到真空室的压强为5～10Pa，调节靶电流在100～140A之间，并对工件施加脉冲电压300V，占空比150％，直流电压50V，进行离子镀沉积金属Mo涂层，涂层厚度1～10微米；步骤3.6、随炉真空冷却至50℃，完成金属Mo涂层的沉积；步骤3.7、取件并拆除工装。