[发明专利]一种具有自适应缓冲层的旋转靶材的制备方法

摘要

本发明公开了一种具有自适应缓冲层的旋转靶材的制备方法，该缓冲层内部结构为多孔状，外观结构为圆环状（呈筒形）。先用热喷涂的方法在衬底表面制备一层厚度为靶材坯体厚度的1/5‑1/7、屈服强度髙（大于热等静压压力）、热膨胀系数适中（介于靶材坯体与衬底之间）、传热性良好、孔隙率为30%‑40%的自适应缓冲层，再采用热等静压法（HIP）在自适应缓冲层表面制备靶材坯体。多孔状缓冲层具有机械的自补偿功能，当自适应缓冲层和靶材坯体在热等静压、冷却的过程中，通过多孔结构缓冲层内部平均孔隙直径的变化，有效地吸收了热压和冷却过程中产生在靶材坯体与衬底界面之间的热失配应变，从而起到保护靶材不破裂的效果。

主权项

1.一种具有自适应缓冲层的旋转靶材的制备方法，其特征在于：在压实的靶材坯体与衬底之间加入一层圆环状自适应缓冲层；具体包括以下步骤：1)根据所要制备的旋转靶材，选定合适的内衬管、包套以及相应的缓冲层材料；2) 在内衬管上喷涂一层多孔结构的圆环状自适应缓冲层，该缓冲层厚度为靶材坯体厚度的1/5‑1/7；控制喷涂工艺及造孔剂的添加量使孔隙率在30%‑40%；3)对包套进行焊接组装，在装料之前用超声探伤和渗透探伤检验；按照制备的旋转靶材的厚度及长度称取相应的靶材原料粉末，若为混合粉按照相应的比例称取并混料；4)将靶材原料粉末装入包套容器，进行真空除气，将包套容器封焊；5)再采用热等静压加压烧结成型；6)经热等静压成型后的靶材坯体直接与包套容器中的衬管达到固态结合，构成真空溅射镀膜用靶材模组；随炉冷却后简单的尺寸检查，肉眼检查是否有靶材破裂情况；7)最后将坯料按照要求机加工至成品。