[发明专利]一种酸性蚀刻液再生循环方法在审
申请号: | 201711453601.8 | 申请日: | 2017-12-28 |
公开(公告)号: | CN109972139A | 公开(公告)日: | 2019-07-05 |
发明(设计)人: | 罗宝奎;陈永江 | 申请(专利权)人: | 广州市吉池环保科技有限公司 |
主分类号: | C23F1/46 | 分类号: | C23F1/46;C25C1/12;C23F1/18 |
代理公司: | 北京君华知识产权代理事务所(普通合伙) 11515 | 代理人: | 朱庆华 |
地址: | 510700 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 一种酸性蚀刻液的再生循环方法包括如下步骤:S1:将PCB酸性蚀刻线上产生的酸性蚀刻废液收集至蚀刻废液槽中;S2:将蚀刻废液槽中的废液输送至电解槽中,通过电解作用在阴极区将废液中的铜离子析出形成电解铜片;S3:将电解槽阳极区的废液输送至酸雾吸收缸中;S4:向酸雾吸收缸中的废液输送氯气,通过与氯气的反应制备再生蚀刻液;S5:将酸雾吸收缸中的再生蚀刻液输送至酸性蚀刻线(DES)中用于蚀刻工艺,实现酸性蚀刻液的再生循环。本发明提供的方法使再生蚀刻液的回用率可以达到100%,减少约80%的盐酸和氧化剂的添加,大大降低了物料成本。 | ||
搜索关键词: | 酸性蚀刻液 再生蚀刻液 废液输送 酸雾吸收 再生循环 氯气 蚀刻废液 酸性蚀刻 电解铜 酸性蚀刻废液 氧化剂 电解槽阳极 析出 电解作用 蚀刻工艺 物料成本 电解槽 铜离子 阴极区 废液 盐酸 制备 | ||
【主权项】:
1.一种酸性蚀刻液的再生循环方法,包括如下步骤:S1:将PCB酸性蚀刻线上产生的酸性蚀刻废液收集至蚀刻废液槽中;S2:将蚀刻废液槽中的废液输送至电解槽中,通过电解作用在阴极区将废液中的铜离子析出形成电解铜片 ;S3:将电解槽阳极区的废液输送至酸雾吸收缸中;S4:向酸雾吸收缸中的废液输送氯气,通过与氯气的反应制备再生蚀刻液;S5:将酸雾吸收缸中的再生蚀刻液输送至酸性蚀刻线(DES)中用于蚀刻工艺,实现酸性蚀刻液的再生循环。
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