[发明专利]一种微蚀刻液的再生循环装置在审

专利信息
申请号: 201711453755.7 申请日: 2017-12-28
公开(公告)号: CN109972141A 公开(公告)日: 2019-07-05
发明(设计)人: 罗宝奎;陈永江 申请(专利权)人: 广州市吉池环保科技有限公司
主分类号: C23F1/46 分类号: C23F1/46;C25C1/12
代理公司: 北京君华知识产权代理事务所(普通合伙) 11515 代理人: 朱庆华
地址: 510700 广东省*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 一种微蚀刻液的再生循环装置,包括与微蚀刻生产线连通的蚀刻废液槽以及,用于输送再生蚀刻液至微蚀刻生产线的再生调配槽;所述蚀刻废液槽与电解槽连通,所述电解槽与所述再生调配槽连通。该微蚀刻液的再生循环装置采用直接电解的生产工艺,将微蚀刻废液直接加入到电解槽中进行电解,将废液中的铜离子分离出来,经过电沉积后形成高纯电解铜板;降低铜离子浓度的电解液经调整参数后返回微蚀刻生产线使用,实现微蚀刻废液的循环再生。该设备为全自动封闭及环保型系统,无废水、废气及其他废物排放。
搜索关键词: 微蚀刻 再生循环装置 微蚀刻液 电解槽 废液 连通 蚀刻废液 调配槽 铜离子 环保型系统 再生蚀刻液 再生 电解铜板 调整参数 废物排放 循环再生 直接电解 电沉积 电解液 高纯 生产工艺 电解 废气 废水 返回 封闭
【主权项】:
1.一种微蚀刻液的再生循环装置,包括与微蚀刻生产线连通的蚀刻废液槽以及,用于输送再生蚀刻液至微蚀刻生产线的再生调配槽;所述蚀刻废液槽与电解槽连通,所述电解槽与所述再生调配槽连通。
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