[发明专利]一种foup盒用锁紧机构、foup装置及其锁紧方法有效
| 申请号： | 201711455332.9 | 申请日： | 2017-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN109969594B | 公开（公告）日： | 2021-01-26 |
| 发明（设计）人： | 华正雨;赵治国;李学威;何书龙;陈睿;李国彬 | 申请（专利权）人： | 沈阳新松机器人自动化股份有限公司 |
| 主分类号： | B65D55/14 | 分类号： | B65D55/14 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人： | 许宗富 |
| 地址： | 110168 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种foup盒用锁紧机构、foup装置及其锁紧方法。本发明提供的foup盒用锁紧机构包括：滑动支撑板、滑块、滑道、固定支撑板、滑动气缸、气缸连接板、伸缩气缸和锁紧夹块；所述伸缩气缸固定在所述固定支撑板上，所述伸缩气缸上伸出有伸缩气缸伸缩杆，所述锁紧夹块固定在所述伸缩气缸伸缩杆上；所述滑道固定安装在所述固定支撑板的上方，所述滑块安装在所述滑道上，所述滑块能在所述滑道上滑动；所述滑动支撑板固定安装在所述滑块上，所述滑动支撑板用于放置foup盒。本发明可实现foup盒的完全固定，优选地，可以对foup盒硅片进行侧面操作，解除了foup盒操作位置的限制，而且可靠性强，结构合理，调节方便。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 foup 盒用锁紧 机构 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
1.一种foup盒用锁紧机构，其特征在于，包括：滑动支撑板、滑块、滑道、固定支撑板、滑动气缸、气缸连接板、伸缩气缸和锁紧夹块；所述伸缩气缸固定在所述固定支撑板上，所述伸缩气缸上伸出有伸缩气缸伸缩杆，所述锁紧夹块固定在所述伸缩气缸伸缩杆上；所述滑道固定安装在所述固定支撑板的上方，所述滑块安装在所述滑道上，所述滑块能在所述滑道上滑动；所述滑动支撑板固定安装在所述滑块上，所述滑动支撑板用于放置foup盒。
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