[发明专利]一种foup盒内真空氮气填充系统及foup盒排空气法

摘要

本发明提供了一种foup盒内真空氮气填充系统及foup盒排空气法。本发明提供的foup盒内真空氮气填充系统包括2条或2条以上基板进气通道；吹气置块，所述吹气置块与foup盒所在的基板固定连接，所述吹气置块的一面设有2个或2个以上吹气置块进气孔，所述吹气置块进气孔分别与所述基板进气通道相通，所述吹气置块的内部设有一条通气管道，所述通气管道上设有若干吹气置块吹气孔，所述吹气置块吹气孔与foup盒内相通且所述吹气置块吹气孔的吹气方向与基板面之间的夹角为40°‑50°；及基板排气通道，所述基板排气通道设置在foup盒所在的基板上，用于foup盒内的空气的排出。本发明解决了foup盒内空气排放不干净，氮气填充不充分，影响硅片加工等问题。

主权项

1.一种foup盒内真空氮气填充系统，其特征在于，包括：2条或2条以上基板进气通道，所述基板进气通道设置在foup盒所在的基板上，所述基板进气通道的一头与氮气气源相通，用于氮气的传输；吹气置块，所述吹气置块与foup盒所在的基板固定连接，所述吹气置块的一面设有2个或2个以上吹气置块进气孔，所述吹气置块进气孔分别与所述基板进气通道相通，所述吹气置块的内部设有一条通气管道，所述通气管道上设有若干吹气置块吹气孔，所述吹气置块吹气孔与foup盒内相通且所述吹气置块吹气孔的吹气方向与foup盒所在的基板的基板面之间的夹角为40°‑50°；基板排气通道，所述基板排气通道设置在foup盒所在的基板上，用于foup盒内的空气的排出。