[发明专利]一种悬臂梁式磁传感器、其制备方法与使用方法在审
| 申请号： | 201711457030.5 | 申请日： | 2017-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN108039404A | 公开（公告）日： | 2018-05-15 |
| 发明（设计）人： | 巫远招;刘宜伟;李润伟 | 申请（专利权）人： | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
| 主分类号： | H01L41/06 | 分类号： | H01L41/06;H01L41/12;H01L41/47 |
| 代理公司： | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人： | 陈英俊 |
| 地址： | 315201 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种悬臂梁式磁传感器，包括底座与悬臂梁，悬臂梁的一端固定在底座上，另一端为自由端，并且悬臂梁上设置磁体；工作状态时，悬臂梁在振源作用下发生振动，当外界磁场作用于磁体，磁体产生磁扭矩使该振动的频率与振幅发生变化，通过检测该振动的频率与振幅实现该磁场的探测。该磁传感器结构简单，能够实现高灵敏度的磁场探测。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 悬臂梁 传感器 制备 方法 使用方法 | ||
【主权项】：
1.一种悬臂梁式磁传感器，其特征是：包括底座与悬臂梁，悬臂梁的一端固定在底座上，另一端为自由端；并且，悬臂梁上设置磁体；工作状态时，悬臂梁在振源作用下发生振动，当外界磁场作用于磁体，该振动的频率与振幅发生变化，通过检测该振动的频率与振幅实现磁场的探测。
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