[发明专利]一种四头式激光蚀刻机在审
| 申请号： | 201711459491.6 | 申请日： | 2017-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN108115287A | 公开（公告）日： | 2018-06-05 |
| 发明（设计）人： | 陶雄兵;李贵群;昌斌;严达荣;徐俊南 | 申请（专利权）人： | 鞍山盛雄激光设备有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/362 | 分类号： | B23K26/362;B23K26/064;B23K26/142;B23K26/70 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 张春水;唐京桥 |
| 地址： | 114000 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明所的四头式激光蚀刻机含多个激光蚀刻工位，大大地提高了生产效率高；而且，本发明激光蚀刻机的定位系统包括左右并列设置的两个CCD视觉系统，定位更为准确，节约加工工序和加工时间，提高了生产效率。本发明的四头式激光蚀刻机包括：机柜底座和位于机柜底座上方的工作平台，工作平台上设有定位系统和并列设置的四组光路系统；每组光路系统依次包括：激光发生器、扩束镜、振镜和场镜，激光发生器、扩束镜和振镜同轴；场镜位于振镜的下方，并与振镜同轴；场镜连接抽风组件，用于保持蚀刻工件表面的清洁度；定位系统与振镜和场镜的中心轴线平行，包括左右并列设置的两个CCD视觉系统。 | ||
| 搜索关键词： | 振镜 激光蚀刻机 场镜 定位系统 激光发生器 工作平台 光路系统 机柜底座 生产效率 左右并列 扩束镜 同轴 清洁度 并列设置 抽风组件 激光蚀刻 加工工序 蚀刻工件 中心轴线 工位 平行 节约 加工 | ||
【主权项】：
一种四头式激光蚀刻机，包括：机柜底座和位于所述机柜底座上方的工作平台，其特征在于，所述工作平台上设有定位系统和并列设置的四组光路系统；所述每组光路系统依次包括：激光发生器、扩束镜、振镜和场镜，所述激光发生器、扩束镜和振镜同轴；所述场镜位于所述振镜的下方，并与所述振镜同轴；所述场镜连接抽风组件，用于保持蚀刻工件表面的清洁度；所述定位系统与所述振镜和所述场镜的中心轴线平行，包括左右并列设置的两个CCD视觉系统。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于鞍山盛雄激光设备有限公司，未经鞍山盛雄激光设备有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201711459491.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
