[发明专利]晶圆托盘加工方法在审
| 申请号： | 201711460079.6 | 申请日： | 2017-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN109967971A | 公开（公告）日： | 2019-07-05 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;王学泽;张锦松 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B23P15/00 | 分类号： | B23P15/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 高磊;吴敏 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种晶圆托盘加工方法，包括：提供托盘，所述托盘具有适于承托晶圆的正面和背向晶圆的背面；提供铝合金车刀、氮化硼车刀和金刚石车刀，利用铝合金车刀对所述正面和背面分别进行粗加工；进行粗加工之后，利用氮化硼车刀对所述正面和背面分别进行半精加工；进行半精加工之后，利用金刚石车刀对所述正面和背面分别进行精加工。利用铝合金车刀粗加工托盘表面，能够提升托盘的加工效率；利用氮化硼车刀半精加工托盘表面，能够使托盘具有相对较好的加工精度；利用金刚石车刀精加工托盘表面，能够使托盘的表面更加光洁，具有更好的表面粗糙度，从而获得非常平整的表面。从而当晶圆防止在托盘上时，不会使晶圆发生倾斜，不会导致晶圆镀膜不均匀。 | ||
| 搜索关键词： | 车刀 托盘 晶圆 金刚石车刀 背面 半精加工 托盘表面 氮化硼 铝合金 精加工 加工 表面粗糙度 加工效率 晶圆托盘 不均匀 圆托盘 光洁 承托 镀膜 种晶 平整 | ||
【主权项】：
1.一种晶圆托盘加工方法，其特征在于，包括：提供托盘，所述托盘具有适于承托晶圆的正面和背向晶圆的背面；提供铝合金车刀、氮化硼车刀和金刚石车刀，利用铝合金车刀对所述正面和背面分别进行粗加工；进行粗加工之后，利用氮化硼车刀对所述正面和背面分别进行半精加工；进行半精加工之后，利用金刚石车刀对所述正面和背面分别进行精加工。
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