[发明专利]用于从气溶胶颗粒生成元素离子的离子源和方法有效
申请号: | 201711460682.4 | 申请日: | 2017-12-28 |
公开(公告)号: | CN108695135B | 公开(公告)日: | 2022-07-08 |
发明(设计)人: | U·罗纳 | 申请(专利权)人: | 托夫沃克股份公司 |
主分类号: | H01J49/10 | 分类号: | H01J49/10 |
代理公司: | 北京思益华伦专利代理事务所(普通合伙) 11418 | 代理人: | 赵飞;郭红丽 |
地址: | 瑞士*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明涉及用于从气溶胶颗粒生成元素离子和/或电离的金属氧化物的离子源,其包含:具有内部的减压室;入口和限流装置,用于将包含分散在气体中的气溶胶颗粒的分散体中的气溶胶颗粒引入减压室的内部,该入口经由限流装置将减压室的外部与减压室的内部流体耦合;激光器,用于在减压室的内部的等离子体区中诱导分散体中的等离子体,以将气溶胶颗粒原子化并电离成元素离子和/或电离的金属氧化物;减压室适于在其内部实现并维持0.01mbar至100mbar的压力。本发明进一步涉及用于从气溶胶颗粒生成元素离子和/或电离的金属氧化物的方法。 | ||
搜索关键词: | 用于 气溶胶 颗粒 生成 元素 离子 离子源 方法 | ||
【主权项】:
1.一种用于从气溶胶颗粒生成元素离子和潜在的电离金属氧化物的离子源(50、150),其包含:a)具有内部的减压室(61);b)入口(56)和限流装置(60),其用于将包含分散在气体、特别是空气中的所述气溶胶颗粒的分散体中的所述气溶胶颗粒引入所述减压室(61)的所述内部,所述入口(56)经由所述限流装置(60)将所述减压室(61)的外部与所述减压室(61)的所述内部流体耦合;c)激光器(62),其用于在所述减压室(61)的所述内部的等离子体区(63)中诱导所述分散体中的等离子体,以用于将所述气溶胶颗粒原子化并电离成元素离子和潜在的电离金属氧化物,其中所述激光器(62)适用于在所述减压室(61)的所述内部的所述等离子体区(63)中诱导所述分散体的所述气体中的所述等离子体,以用于将所述气溶胶颗粒原子化并电离成元素离子;其特征在于,所述减压室(61)适于在所述减压室(61)的所述内部实现并维持0.01mbar至100mbar、优选0.1mbar至100mbar或1mbar至100mbar、特别优选0.1mbar至50mbar或1mbar至50mbar、最优选0.1mbar至40mbar或1mbar至40mbar范围内的压力。
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