[发明专利]一种基于紫外固化的新型光栅复制方法在审

专利信息
申请号: 201711460938.1 申请日: 2017-12-28
公开(公告)号: CN107884856A 公开(公告)日: 2018-04-06
发明(设计)人: 卢禹先;王玉清;刘畅;姚玉洁;潘明忠;尹禄 申请(专利权)人: 中国科学院上海技术物理研究所杭州大江东空间信息技术研究院
主分类号: G02B5/18 分类号: G02B5/18
代理公司: 成都顶峰专利事务所(普通合伙)51224 代理人: 何红信
地址: 310000 浙江省杭州*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 发明涉及一种基于紫外固化的新型光栅复制方法,其包括如下步骤S1提供一母版光栅和基底;S2对步骤S1所提供的母版光栅和基底进行超声波清洗;S3在完成步骤S2后的母版光栅上均匀涂覆润滑油;S4在完成步骤S3后的母版光栅上均匀涂覆紫外固化胶;S5将步骤S1中所提供的基底置于经过步骤S4处理后的母版光栅上;并采用紫外光对其进行照射,使得紫外固化胶固化;S6完成步骤S5后,将母版光栅和基底分离,使得在基底上形成复制光栅;S7在复制光栅表面形成反射膜。本发明提出的方法可以有效提高复制光栅生产速率,解决现有复制光栅制作工艺中存在的制作周期较长,生产速率较慢这一问题,其对增加复制光栅产量具有直接的重要价值。
搜索关键词: 一种 基于 紫外 固化 新型 光栅 复制 方法
【主权项】:
一种基于紫外固化的新型光栅复制方法,其特征在于,其包括如下步骤:步骤S1:提供一母版光栅和基底;步骤S2:对所述步骤S1所提供的母版光栅和基底进行超声波清洗;步骤S3:在完成所述步骤S2后的母版光栅上均匀涂覆润滑油;步骤S4:在完成所述步骤S3后的母版光栅上均匀涂覆紫外固化胶;步骤S5:将所述步骤S1中所提供的所述基底置于经过所述步骤S4处理后的所述母版光栅上;并采用紫外光对其进行照射,使得所述紫外固化胶固化;步骤S6:完成所述步骤S5后,将所述母版光栅和所述基底分离,使得在所述基底上形成复制光栅;步骤S7:在所述复制光栅表面形成反射膜。
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