[发明专利]一种单片集成的MEMS气体传感器在审
| 申请号： | 201711467787.2 | 申请日： | 2017-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN109991280A | 公开（公告）日： | 2019-07-09 |
| 发明（设计）人： | 孙书敏 | 申请（专利权）人： | 烟台博昊信息科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/00 | 分类号： | G01N27/00;B81B7/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 264006 山东省烟台*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种单片集成的MEMS气体传感器，通过在一个衬底上集成多种气体传感器，可以根据需要同时或者不同时检测各种气体，从而能有效降低生产成本及使用成本，包括衬底、位于衬底上的碳化硅层，所述碳化硅层上表面涂有二氧化硅薄膜，所述二氧化硅薄膜上表面设有绝缘层，所述绝缘层上表面设有气体敏感层，所述气体敏感层与所述绝缘层之间设有加热电极，所述气体敏感层为两个以上，所述气体敏感层与加热电极之间设有热敏层，所述衬底、碳化硅层、二氧化硅薄膜、绝缘层、加热电极、热敏层及气体敏感层之间分别通过粘结层相连接，所述气体敏感层上表面涂有气敏型金属氧化物薄膜，所述每个气体敏感层上的气敏型金属氧化物薄膜材质不同或相同。 | ||
| 搜索关键词： | 气体敏感层 绝缘层 衬底 二氧化硅薄膜 气体传感器 加热电极 碳化硅层 上表面 金属氧化物薄膜 单片集成 热敏层 绝缘层上表面 气敏型 粘结层 敏型 检测 | ||
【主权项】：
1.一种单片集成的MEMS气体传感器，其特征在于：包括衬底、位于衬底上的碳化硅层，所述碳化硅层上表面涂有二氧化硅薄膜，所述二氧化硅薄膜上表面设有绝缘层，所述绝缘层上表面设有气体敏感层，所述气体敏感层为两个以上，所述每个气体敏感层与所述绝缘层之间设有加热电极，所述气体敏感层与加热电极之间设有热敏层，所述衬底、碳化硅层、二氧化硅薄膜、绝缘层、加热电极、热敏层及气体敏感层之间分别通过粘结层相连接，所述气体敏感层上表面涂有气敏型金属氧化物薄膜，所述每个气体敏感层上的气敏型金属氧化物薄膜材质不同或相同。
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