[发明专利]碳化硼研磨液回收循环再利用方法在审
| 申请号： | 201711470008.4 | 申请日： | 2017-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN108177088A | 公开（公告）日： | 2018-06-19 |
| 发明（设计）人： | 蔡佳霖;郑东 | 申请（专利权）人： | 青岛鑫嘉星电子科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B57/00 | 分类号： | B24B57/00 |
| 代理公司： | 青岛发思特专利商标代理有限公司 37212 | 代理人： | 巩同海 |
| 地址： | 266114 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种碳化硼研磨液回收循环再利用方法，属于碳化硼回收技术领域。本发明包括如下步骤：收集精磨加工排放后的碳化硼研磨液；倒掉上表层的水溶液，对剩余底层的碳化硼进行称重，加入RO水搅拌均匀；向所得的溶液加入粗磨悬浮剂后进行搅拌，得到研磨液；研磨机设定相应的粗磨加工流量值、压力值和转速值进行晶片加工，本发明一方面通过对精磨加工排放后的碳化硼研磨液做一系列特殊处理，保证研磨液的悬浮度和粘稠度，另一方面调整研磨机与回收研磨液相适配的粗磨加工参数，使得加工的蓝宝石符合出站要求，研磨液的回收利用降低了化学机械研磨工艺的成本。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨液 碳化硼 粗磨 回收 循环再利用 研磨机 加工 精磨 化学机械研磨工艺 蓝宝石 回收利用 加工参数 晶片加工 上表层 悬浮度 悬浮剂 粘稠度 排放 称重 出站 适配 保证 | ||
【主权项】：
1.一种碳化硼研磨液回收循环再利用方法，其特征在于：包括如下步骤：步骤一：收集精磨加工排放后的碳化硼研磨液；步骤二：倒掉步骤一所述的碳化硼研磨液上表层的水溶液，对剩余底层的碳化硼进行称重，加入RO水搅拌均匀；步骤三：向步骤二所得的溶液加入粗磨悬浮剂后进行搅拌，得到研磨液；步骤四：将步骤三所得研磨液投入研磨机使用，研磨机设定相应的粗磨加工流量值、压力值和转速值。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于青岛鑫嘉星电子科技股份有限公司，未经青岛鑫嘉星电子科技股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201711470008.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种磨削装置用磨屑收集装置
- 下一篇：抛光液供给臂及抛光液供给装置
