[发明专利]一种集成型成像传感器及其制备方法

摘要

本发明公开了一种集成型成像传感器及其制备方法，包括：雪崩光电探测器阵列、读出电路、微纳光栅(micro‑polarizer)和纳米鳍(nano‑fin)阵列超棱镜(metalens)结构，探测器采用倒装结构，下表面布置n型与p型欧姆电极并与图像信号读取电路相连接，上表面是半导体材料外延基底。超棱镜集成在外延基底之上。微纳光栅阵列分布在超棱镜之上。所述微纳光栅阵列可将入射的非偏振光（比如自然光）转变成偏振光，随后传递给超棱镜聚焦；所述超棱镜具备焦距超短，相差极小的优点，可以将物象清晰的成在传感器阵列上；所述成像传感器具有高灵敏和高集成的特征。