[发明专利]量测结构有效
| 申请号： | 201711472179.0 | 申请日： | 2017-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN109950229B | 公开（公告）日： | 2020-11-03 |
| 发明（设计）人： | 赖佳助;方柏翔;林河全 | 申请（专利权）人： | 矽品精密工业股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/544 | 分类号： | H01L23/544 |
| 代理公司： | 北京戈程知识产权代理有限公司 11314 | 代理人： | 程伟;王锦阳 |
| 地址： | 中国台湾台中*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 一种量测结构，其于介电层上形成一具有两圈环体的震荡量测组，以于单一次量测介电常数的作业中，能量测出两个频率峰值。 | ||
| 搜索关键词： | 结构 | ||
【主权项】：
1.一种量测结构，其特征在于，该量测结构包括：介电层；第一导线，其设于该介电层上且具有第一端部；第二导线，其设于该介电层上且具有对应该第一端部的第二端部；第一环体，其设于该介电层上并间隔地位于该第一端部与该第二端部之间，且电性耦合该第一端部与该第二端部；以及第二环体，其设于该介电层上并间隔地环绕于第一环体外，且间隔地包围该第一端部与该第二端部，并与该第一端部及该第二端部电性耦合。
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