[发明专利]一种非晶合金的镀膜设备及蒸镀着色方法在审
| 申请号： | 201711481661.0 | 申请日： | 2017-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN108018530A | 公开（公告）日： | 2018-05-11 |
| 发明（设计）人： | 董伍乐;赵海;李定春;翟会阳;柳先峰 | 申请（专利权）人： | 上海驰声新材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32;C23C14/02;C23C14/06 |
| 代理公司： | 上海伯瑞杰知识产权代理有限公司 31227 | 代理人： | 吴泽群 |
| 地址： | 201906 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种非晶合金的镀膜设备及蒸镀着色方法，包括：反应炉；挂具，挂具固定在反应炉内；保护气体装置，通过保护气体管路与反应炉相连；机械泵，通过第一抽气管路与反应炉相连，第一抽气管路上设置有粗抽阀；分子泵，通过第二抽气管路与反应炉相连，第二抽气管路上设置有高抽阀；电弧靶，电弧靶的电极位于反应炉内，且在反应炉内设置有靶材；控制箱，与机械泵、粗抽阀、分子泵、高抽阀、电弧靶和靶材相连。该非晶合金镀膜方法具有操作简单、良率高、颜色多样性等特点。本发明填补和解决了目前市面上非晶合金镀膜设备和镀膜方法的空白。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 合金 镀膜 设备 着色 方法 | ||
【主权项】：
1.一种非晶合金的镀膜设备，其特征在于，包括：反应炉；挂具，所述挂具固定在所述反应炉内；保护气体装置，通过保护气体管路与所述反应炉相连；机械泵，通过第一抽气管路与所述反应炉相连，所述第一抽气管路上设置有粗抽阀；分子泵，通过第二抽气管路与所述反应炉相连，所述第二抽气管路上设置有高抽阀；电弧靶，所述电弧靶的电极位于所述反应炉内，且在所述反应炉内设置有靶材；控制箱，与机械泵、粗抽阀、分子泵、高抽阀、电弧靶和靶材相连。
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