[实用新型]载板及使用该载板的太阳能电池生产设备有效
申请号: | 201720003567.3 | 申请日: | 2017-01-03 |
公开(公告)号: | CN206301768U | 公开(公告)日: | 2017-07-04 |
发明(设计)人: | 闫路;朱海剑;庄正军;上官泉元 | 申请(专利权)人: | 江西比太科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673;H01L21/683;H01L31/18 |
代理公司: | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙)11371 | 代理人: | 曹桓 |
地址: | 330096 江西省南昌市*** | 国省代码: | 江西;36 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本实用新型涉及太阳能电池加工装置技术领域,尤其是涉及一种载板及使用该载板的太阳能电池生产设备。载板,包括板体,板体的上板面设置有两个陪片放置区和多个按行列排布的硅片放置区;硅片放置区设置有通气凹槽;相邻两个硅片放置区的边缘之间设置有硅片定位凸起,用于将硅片限定于硅片放置区中;两个陪片放置区分别位于板体的两个短边侧;陪片放置区的边缘与硅片放置区的边缘之间设置有硅片定位凸起。太阳能电池生产设备,包括载板传输装置和载板,载板传输装置用于传输载板。本实用新型能够避免损坏绒面和碰碎硅片的现象,提高成品良品率。 | ||
搜索关键词: | 使用 太阳能电池 生产 设备 | ||
【主权项】:
一种载板,其特征在于:包括板体,所述板体的上板面设置有两个陪片放置区和多个按行列排布的硅片放置区;所述硅片放置区设置有通气凹槽;相邻两个所述硅片放置区的边缘之间设置有硅片定位凸起,用于将所述硅片限定于所述硅片放置区中;两个所述陪片放置区分别位于所述板体的两个短边侧;所述陪片放置区的边缘与所述硅片放置区的边缘之间设置有所述硅片定位凸起。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造