[实用新型]一种材料的生长测试一体化系统有效
| 申请号： | 201720005833.6 | 申请日： | 2017-01-04 |
| 公开（公告）号： | CN206408285U | 公开（公告）日： | 2017-08-15 |
| 发明（设计）人： | 徐永兵;倪志强;聂忠辉;黎遥;何亮;王学锋 | 申请（专利权）人： | 南京大学 |
| 主分类号： | C23C14/28 | 分类号： | C23C14/28;C30B23/02;G01N23/227 |
| 代理公司： | 南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙)32249 | 代理人： | 陈建和 |
| 地址： | 210093 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 先进材料的生长测试一体化系统，包括光源产生系统，真空传输系统，材料生长系统以及时间和自旋分辨的电子能谱测试系统；所述光源产生系统包括极紫外超短脉冲激光系统，光学参量转换系统，极紫外超短脉冲激光转换系统，时间同步装置，泵浦光和探测光合束器；所述时间和自旋分辨的电子能谱测试系统包括合束输入窗口；真空测试腔；样品固定架；半球电子能谱分析仪，扫描电子显微镜；所述材料生长系统包括第一和第二分子束外延生长系统；第一和第二脉冲激光沉积系统；真空传输系统包括超高真空样品输运小车和串联的超高真空管道，通过超高真空管道，在生长腔室与能谱探测腔之间来回传递；实现不同先进材料的生长和制备。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 材料 生长 测试 一体化 系统 | ||
【主权项】：
先进材料的生长测试一体化系统，其特征是包括光源产生系统，真空传输系统，材料生长系统以及时间和自旋分辨的电子能谱测试系统；所述光源产生系统包括极紫外超短脉冲激光系统，光学参量转换系统，极紫外超短脉冲激光转换系统，时间同步装置，泵浦光和探测光合束器；所述时间和自旋分辨的电子能谱测试系统包括：合束输入窗口；真空测试腔；样品固定架；半球电子能谱分析仪，扫描电子显微镜；所述材料生长系统包括：第一分子束外延生长系统MBE1；第二分子束外延生长系统MBE2；第一脉冲激光沉积系统PLD1；第二脉冲激光沉积系统PLD2；真空传输系统包括超高真空样品输运小车和串联的超高真空管道和超高真空样品室，通过超高真空管道，在生长腔室与能谱探测腔之间来回传递。
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