[实用新型]基板吸附剥离装置有效
| 申请号： | 201720006902.5 | 申请日： | 2017-01-04 |
| 公开（公告）号： | CN206416637U | 公开（公告）日： | 2017-08-18 |
| 发明（设计）人： | 徐峰;张静 | 申请（专利权）人： | 昆山龙腾光电有限公司 |
| 主分类号： | B32B38/10 | 分类号： | B32B38/10;G02F1/13 |
| 代理公司： | 北京成创同维知识产权代理有限公司11449 | 代理人： | 蔡纯,张靖琳 |
| 地址： | 215301 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种基板吸附剥离装置，包括上定盘；以及下定盘，所述下定盘与所述上定盘相对设置，其中所述上定盘包括可拆卸的多个吸附定盘和多个支撑定盘，所述吸附定盘和所述支撑定盘之间可自由安装组合。所述吸附定盘朝向所述下定盘一侧设置有吸附模块；所述支撑定盘朝向所述下定盘的一侧设置有支撑模块。所述吸附模块包括硅橡胶层和第一衬底，所述硅橡胶层设置于所述第一衬底上；所述支撑模块包括金属层和第二衬底，所述金属层设置于所述第二衬底上。由此减小了上定盘和基板之间的粘着力，使基板可以更有效地剥离，避免在剥离过程中造成基板的形变。 | ||
| 搜索关键词： | 吸附 剥离 装置 | ||
【主权项】：
一种基板吸附剥离装置，其特征在于，包括：上定盘；以及下定盘，所述下定盘与所述上定盘相对设置，其中所述上定盘包括可拆卸的多个吸附定盘和多个支撑定盘，所述吸附定盘和所述支撑定盘之间可自由安装组合。
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