[实用新型]一种加镓的AZO高密度旋转靶材有效
| 申请号： | 201720016160.4 | 申请日： | 2017-01-06 |
| 公开（公告）号： | CN206579222U | 公开（公告）日： | 2017-10-24 |
| 发明（设计）人： | 胡茂横;张剑华 | 申请（专利权）人： | 深圳恒泰克科技有限公司 |
| 主分类号： | B32B9/00 | 分类号： | B32B9/00;B32B9/04;B32B15/04;B32B15/18;B32B1/08;C23C14/34;C23C14/08 |
| 代理公司： | 深圳市中科创为专利代理有限公司44384 | 代理人： | 高早红,谢亮 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市坪山*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种加镓的AZO高密度旋转靶材，包括由外至内依次设置的靶管、铟层和刚性芯杆；其中，靶管为高密度加镓的AZO陶瓷烧结旋转圆柱靶管，靶管通过铟层浇铸粘接在刚性芯杆上；所述靶管成分为氧化锌ZnO、氧化铝Al2O3和氧化镓Ga2O3，其厚度为5‑15mm；所述铟层为纯铟，所述刚性芯杆为金属芯杆。本实用新型通过加入氧化镓Ga2O3，可以改善AZO的透光率和导电性能，并且，加工完成后将其用纯铟浇铸粘接绑定到刚性金属芯杆上，获得密度不小于96％的AZOGa旋转靶材，并且，通过刚性金属芯杆，AZOGa旋转靶材性能稳定。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 azo 高密度 旋转 | ||
【主权项】：
一种加镓的AZO高密度旋转靶材，其特征在于：包括由外至内依次设置的靶管、铟层和刚性芯杆；其中，靶管为高密度加镓的AZO陶瓷烧结旋转圆柱靶管，靶管通过铟层浇铸粘接在刚性芯杆上；所述靶管成分为氧化锌ZnO、氧化铝Al2O3和氧化镓Ga2O3，其厚度为5‑15mm；所述铟层为纯铟，所述刚性芯杆为金属芯杆。
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