[实用新型]基板搬送机构的吸嘴模组

摘要

本实用新型公开了一种基板搬送机构的吸嘴模组，包括模组滑轨、模组气缸、模组滑板、升降气缸、吸嘴固定板、吸嘴、负压气管、真空发生器和机架；所述模组滑轨和模组气缸固定在机架上，模组滑板可滑动的设在模组滑轨上，模组滑板与模组气缸的活塞杆连接，升降气缸垂直固定在模组滑板上表面，升降气缸的活塞杆向下穿过模组滑板，吸嘴固定板固定在升降气缸的活塞杆上，吸嘴固定在吸嘴固定板下表面，真空发生器与吸嘴之间通过负压气管连接，吸嘴固定板上固定有脱模机构。通过上述方式，本实用新型能够精确的放置基板，提高基板的搬送效率和质量，适用于多种型号的基板。

主权项

一种基板搬送机构的吸嘴模组，其特征在于，包括：模组滑轨、模组气缸、模组滑板、升降气缸、吸嘴固定板、吸嘴、负压气管、真空发生器和机架；所述模组滑轨和模组气缸固定在机架上，模组滑板可滑动的设在模组滑轨上，模组滑板与模组气缸的活塞杆连接，升降气缸垂直固定在模组滑板上表面，升降气缸的活塞杆向下穿过模组滑板，吸嘴固定板固定在升降气缸的活塞杆上，吸嘴固定在吸嘴固定板下表面，真空发生器与吸嘴之间通过负压气管连接，吸嘴固定板上固定有脱模机构；所述脱模机构包括双联气缸、双联气缸固定板和压板，双联气缸固定板固定在吸嘴固定板的边缘处，双联气缸固定在双联气缸固定板上，双联气缸与吸嘴固定板垂直设置，压板固定在双联气缸的活塞杆上，压板位于吸嘴固定板下方。