[实用新型]一种陶瓷旋转靶材邦定的金属密封系统有效
| 申请号： | 201720023307.2 | 申请日： | 2017-01-06 |
| 公开（公告）号： | CN206366646U | 公开（公告）日： | 2017-08-01 |
| 发明（设计）人： | 胡茂横 | 申请（专利权）人： | 深圳恒泰克科技有限公司 |
| 主分类号： | B22D19/04 | 分类号： | B22D19/04;C04B37/02;C23C14/34 |
| 代理公司： | 深圳市中科创为专利代理有限公司44384 | 代理人： | 高早红,谢亮 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市坪山*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种陶瓷旋转靶材邦定的金属密封系统，包括金属背管和套置在金属背管外部的第一陶瓷旋转靶材，其中，金属背管和第一陶瓷旋转靶材在底部由一堵头密封形成空腔；金属背管的管内设置有内加热器，并且，第一陶瓷旋转靶材的外部设置有外加热器；金属背管和第一陶瓷旋转靶材之间的空腔内浇铸有低熔点金属绑定层。在邦定过程中保持两段靶材间保持密封，使低熔点金属不致流失，本实用新型同时在邦定完成时取出密封的低熔点金属绑定层，使其仍然具有热膨胀收缩缝，本实用新型解决了原有专利中采用有机密封，可靠性低，温度局限性大，造成工艺污染和去除困难的问题；大大提高了邦定的效率，提高了可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 陶瓷 旋转 靶材邦定 金属 密封 系统 | ||
【主权项】：
一种陶瓷旋转靶材邦定的金属密封系统，其特征在于：包括金属背管和套置在金属背管外部的第一陶瓷旋转靶材，其中，金属背管和第一陶瓷旋转靶材在底部由一堵头密封形成空腔；金属背管的管内设置有内加热器，并且，第一陶瓷旋转靶材的外部设置有外加热器；金属背管和第一陶瓷旋转靶材之间的空腔内浇铸有低熔点金属绑定层。
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