[实用新型]一种多孔坩埚有效
申请号: | 201720030514.0 | 申请日: | 2017-01-10 |
公开(公告)号: | CN206511930U | 公开(公告)日: | 2017-09-22 |
发明(设计)人: | 高超;宗艳民;李长进;李加林 | 申请(专利权)人: | 山东天岳晶体材料有限公司 |
主分类号: | C01B32/977 | 分类号: | C01B32/977 |
代理公司: | 济南舜源专利事务所有限公司37205 | 代理人: | 赵斌,苗峻 |
地址: | 250118 山东*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本实用新型属于新材料加工技术领域,发明人提供了一种全新的多孔坩埚,包括多孔的石墨坩埚以及内置的多孔石墨托盘,所述多孔的石墨坩埚包括坩埚盖(1)和坩埚体(2),所述坩埚盖(1)和坩埚体(2)上均设置有通孔A(3);所述多孔石墨托盘由若干层石墨托盘(6)组成,所述石墨托盘(6)之间通过石墨托(4)承载;所述的石墨托盘(6)上设置有通孔B(5)。本实用新型可以配合高纯度硅烷和高纯度碳粉为原料,在惰性气体的保护下可以获得高纯度的碳化硅粉料;采用分层托盘结构的坩埚,实现了物料的分层堆放,同时提高了硅烷和碳粉的接触面积,有利于热量的传递,提高了原料的利用率,提高了反应收率和最终产品碳化硅粉料的纯度。 | ||
搜索关键词: | 一种 多孔 坩埚 | ||
【主权项】:
一种多孔坩埚,其特征在于:具体结构如下:包括多孔的石墨坩埚以及内置的多孔石墨托盘,所述多孔的石墨坩埚包括坩埚盖(1)和坩埚体(2),所述坩埚盖(1)和坩埚体(2)上均设置有通孔A(3);所述多孔石墨托盘由若干层石墨托盘(6)组成,所述石墨托盘(6)之间通过石墨托(4)承载;所述的石墨托盘(6)上设置有通孔B(5)。
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