[实用新型]一种石墨平台可滑动式的SiC生长坩埚平台

摘要

本申请涉及SiC生产技术领域，具体为一种石墨平台可滑动式的SiC生长坩埚平台。本申请提供了一种新型的SiC生长坩埚平台，该装置通过在石墨平台上的坩埚槽内铺设石墨毡，石墨毡内部均匀分布有电阻丝，电阻丝的端部裸露在石墨毡外部，加热时，直接在石墨毡上通电加热，使得石墨毡发热，从而进一步加热坩埚。这样设置，避免了直接给坩埚通电，而造成糊锅等问题。另一方面，为了方便更换石墨平台或不锈钢底座，在石墨平台底部设置了滑动导轨，当需要移动石墨平台时，推动石墨平台即可，既省时又省力。

主权项

一种石墨平台可滑动式SiC生长坩埚平台，其特征在于，包括长方体形石墨平台(2)，所述的长方体形石墨平台(2)上开设有坩埚槽(1)，且坩埚槽(1)凹陷在长方体形石墨平台(2)内部，开口与长方体形石墨平台(2)的上表面平齐；所述的坩埚槽(1)内铺设石墨毡(6)，且石墨毡(6)内部均匀分布有电阻丝(5)，电阻丝(5)的端部裸露在石墨毡(6)的外部，SiC生长坩埚(7)放置在坩埚槽(1)内部，其外表面与裸露的电阻丝端部相接；所述的长方体形石墨平台(2)底部设置有滑动导轨(4)。