[实用新型]一种检测金属线短路的测试结构有效
| 申请号： | 201720038222.1 | 申请日： | 2017-01-12 |
| 公开（公告）号： | CN206584011U | 公开（公告）日： | 2017-10-24 |
| 发明（设计）人： | 杨梅 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司;中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26;H01L21/66 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所31219 | 代理人： | 王华英 |
| 地址： | 100176 北京市大兴*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种检测金属线短路的测试结构，包括第一梳齿结构、第二梳齿结构以及蛇形结构，所述第一梳齿结构和第二梳齿结构相对交错设置，所述蛇形结构位于第一梳齿结构和第二梳齿结构之间的间隙之中，测试结构还包括测试金属线段，测试金属线段位于所述第一梳齿结构、第二梳齿结构以及蛇形结构的上方；金属插塞，所述金属插塞连接测试金属线段和第一梳齿结构、连接测试金属线段和第二梳齿结构以及连接测试金属线段和蛇形结构。本实用新型的检测金属线短路的测试结构能发现头对头金属线层连接缺陷，且在不破坏失效点的情况下能迅速定位，提高了测试效率和晶圆良率，节约人力成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 检测 金属线 短路 测试 结构 | ||
【主权项】：
一种检测金属线短路的测试结构，包括第一梳齿结构、第二梳齿结构以及蛇形结构，所述第一梳齿结构和所述第二梳齿结构相对交错设置，所述蛇形结构位于所述第一梳齿结构和所述第二梳齿结构之间的间隙之中，其特征在于，所述测试结构还包括：测试金属线段，所述测试金属线段位于所述第一梳齿结构、所述第二梳齿结构以及所述蛇形结构的上方；金属插塞，所述金属插塞连接所述测试金属线段和所述第一梳齿结构，所述金属插塞连接所述测试金属线段和所述第二梳齿结构，所述金属插塞连接所述测试金属线段和所述蛇形结构。
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