[实用新型]一种带有透明真空吸盘的倒置曝光设备有效
| 申请号： | 201720050159.3 | 申请日： | 2017-01-16 |
| 公开（公告）号： | CN206411417U | 公开（公告）日： | 2017-08-15 |
| 发明（设计）人： | 傅志伟 | 申请（专利权）人： | 上海誉刻智能装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 哈尔滨市阳光惠远知识产权代理有限公司23211 | 代理人： | 彭素琴 |
| 地址： | 201612 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种带有透明真空吸盘的倒置曝光设备，属于直写曝光机技术领域。本实用新型的带有透明真空吸盘的倒置曝光设备，包括支撑结构、曝光装置、对准装置、载样装置和控制装置；所述支撑结构下部为一箱体结构，曝光装置和控制装置位于所述箱体结构内，所述载样装置嵌于箱体结构上表面并位于曝光装置上方；所述支撑结构上部为墙面结构或龙门结构，所述对准装置与支撑结构上部连接且位于载样装置的上方；所述载样装置4包括透明真空吸盘和真空发生装置。本实用新型的设备能够实现对产品双面曝光图像精确对位；设备简单，节约成本。同时，样品夹放于密闭环境或真空环境中，可以避免受到外界环境的污染，保证了曝光的良好质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 带有 透明 真空 吸盘 倒置 曝光 设备 | ||
【主权项】：
一种带有透明真空吸盘的倒置曝光设备，其特征在于，包括支撑结构、曝光装置、对准装置、载样装置和控制装置；所述支撑结构下部为一箱体结构，曝光装置和控制装置位于所述箱体结构内，所述载样装置嵌于箱体结构上表面并位于曝光装置上方；所述支撑结构上部为墙面结构或龙门结构，所述对准装置与支撑结构上部连接且位于载样装置的上方；所述载样装置包括透明真空吸盘和真空发生装置。
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