[实用新型]刻蚀机的下电极载片台有效
| 申请号： | 201720064444.0 | 申请日： | 2017-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN206432233U | 公开（公告）日： | 2017-08-22 |
| 发明（设计）人： | 车东辰;李娜;胡冬冬;许开东 | 申请（专利权）人： | 江苏鲁汶仪器有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/20 | 分类号： | H01J37/20;H01L21/67;H01L21/683 |
| 代理公司： | 北京得信知识产权代理有限公司11511 | 代理人： | 孟海娟 |
| 地址： | 221300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种刻蚀机的下电极载片台包括上载台和下载台，两者相互连接，其中，上载台用于放置晶圆，上载台的下表面开有冷却液循环槽，上载台的上表面设有冷却气体分流槽和冷却气体出气孔，下载台中心设有通孔以与刻蚀机的顶针机构匹配安装，具有冷却液入口、冷却液出口和冷却气体进气孔，冷却液入口和冷却液出口均与冷却液循环槽相连通，在对下电极进行冷却时，冷却液从下载台的冷却液入口进入上载台的冷却液循环槽内，而后从下载台的冷却液出口流出，对上载台表面的晶圆进行冷却时，冷却气体从下载台的冷却气体进气孔进入，从上载台的冷却气体出气孔通过，并向冷却气体分流槽内扩散。 | ||
| 搜索关键词： | 刻蚀 电极 载片台 | ||
【主权项】：
一种刻蚀机的下电极载片台，其特征在于，包括上载台和下载台，两者相互连接，其中，所述上载台用于放置晶圆，所述上载台的下表面开有冷却液循环槽，所述上载台的上表面设有冷却气体分流槽和冷却气体出气孔，所述下载台中心设有通孔以与刻蚀机的顶针机构匹配安装，具有冷却液入口、冷却液出口和冷却气体进气孔，所述冷却液入口和所述冷却液出口均与所述冷却液循环槽相连通，在对下电极进行冷却时，冷却液从所述下载台的冷却液入口进入所述上载台的冷却液循环槽内，而后从所述下载台的冷却液出口流出，对所述上载台表面的晶圆进行冷却时，冷却气体从所述下载台的冷却气体进气孔进入，从所述上载台的冷却气体出气孔通过，并向所述冷却气体分流槽内扩散。
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