[实用新型]氯硅烷废气吸收设备有效
申请号: | 201720073447.0 | 申请日: | 2017-01-19 |
公开(公告)号: | CN206793341U | 公开(公告)日: | 2017-12-26 |
发明(设计)人: | 吴中明;江敏 | 申请(专利权)人: | 德山化工(浙江)有限公司 |
主分类号: | B01D53/18 | 分类号: | B01D53/18 |
代理公司: | 上海唯源专利代理有限公司31229 | 代理人: | 曾耀先 |
地址: | 314201 浙江省嘉兴*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本实用新型提供了一种氯硅烷废气吸收设备,包括吸收罐,所述吸收罐内部形成有容置空间,所述容置空间内容置有用于吸收氯硅烷废气的吸收液;进气管,设于所述吸收罐的顶部,所述进气管的第一端插设于所述吸收液内,所述进气管的第二端位于所述吸收罐的外侧且设有进气口;排气管,设于所述吸收罐的顶部,所述排气管的第一端连通于所述容置空间,所述排气管的第二端连接至氯硅烷二次吸收装置;以及用于向外排出所述吸收液的排液管,设于所述吸收罐的底部且连通所述容置空间。本实用新型解决了较长的氯硅烷废气输气管道容易被氯硅烷水解产生的二氧化硅堵塞的问题。 | ||
搜索关键词: | 硅烷 废气 吸收 设备 | ||
【主权项】:
一种氯硅烷废气吸收设备,其特征在于,包括:吸收罐,所述吸收罐内部形成有容置空间,所述容置空间内容置有用于吸收氯硅烷废气的吸收液;进气管,设于所述吸收罐的顶部,所述进气管的第一端插设于所述吸收液内,所述进气管的第二端位于所述吸收罐的外侧且设有进气口;排气管,设于所述吸收罐的顶部,所述排气管的第一端连通于所述容置空间,所述排气管的第二端连接至氯硅烷二次吸收装置;以及用于向外排出所述吸收液的排液管,设于所述吸收罐的底部且连通所述容置空间。
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