[实用新型]多级磁场电弧离子镀的内衬正偏压多孔挡板装置有效

专利信息
申请号: 201720092264.3 申请日: 2017-01-22
公开(公告)号: CN209468497U 公开(公告)日: 2019-10-08
发明(设计)人: 魏永强;宗晓亚;刘学申;刘源;侯军兴;张华阳;蒋志强;冯宪章 申请(专利权)人: 魏永强
主分类号: C23C14/32 分类号: C23C14/32
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 450015 河南省郑州市二七*** 国省代码: 河南;41
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摘要: 多级磁场电弧离子镀的内衬正偏压多孔型挡板装置,属于材料表面处理技术领域,本实用新型为解决多级磁场过滤装置中大颗粒对薄膜的污染和等离子体传输过程中的损失问题。本实用新型的装置包括:偏压电源、弧电源、电弧离子镀靶源、多级磁场装置、多级磁场电源、内衬正偏压多孔型挡板装置、正偏压电源、样品台、偏压电源波形示波器和真空室;薄膜沉积:连接装置,启动系统,待真空室内的真空度小于10‑4Pa时,通入工作气体,开启镀膜电源,同时通过偏压电源对电弧等离子体的能量进行调节,通过内衬正偏压多孔型挡板装置和多级磁场装置来消除电弧等离子体中的大颗粒缺陷和提高电弧等离子体在多级磁场过滤装置的传输效率,设置工艺参数,进行薄膜制备。
搜索关键词: 正偏压 内衬 电弧等离子体 挡板装置 偏压电源 多孔型 磁场过滤装置 本实用新型 电弧离子镀 磁场装置 大颗粒 磁场 材料表面处理技术 等离子体 电弧离子镀靶源 正偏压电源 薄膜沉积 薄膜制备 传输过程 传输效率 磁场电源 多孔挡板 工作气体 连接装置 启动系统 损失问题 弧电源 示波器 样品台 真空室 镀膜 薄膜 电源 室内 污染
【主权项】:
1.多级磁场电弧离子镀的内衬正偏压多孔挡板装置,其特征在于,该装置包括偏压电源(1)、弧电源(2)、电弧离子镀靶源(3)、多级磁场装置(4)、多级磁场电源(5)、内衬正偏压多孔型挡板装置(6)、正偏压电源(7)、样品台(8)、偏压电源波形示波器(9)和真空室(10),内衬正偏压多孔型挡板装置(6)与真空室(10)和多级磁场装置(4)之间绝缘;待处理基体工件置于真空室(10)内的样品台(8)上,工件和样品台(8)接偏压电源(1)的负极输出端,电弧离子镀靶源(3)安装在真空室(10)上,接弧电源(2)的负极输出端,多级磁场装置(4)的各级磁场接多级磁场电源(5)的各个输出端,内衬正偏压多孔型挡板装置(6)接正偏压电源(7)的正极输出端,电弧离子镀靶源(3)和多级磁场装置(4)通过水冷方式避免工作过程中的温度升高问题;内衬正偏压多孔型挡板装置(6)与多级磁场装置(4)之间活动绝缘装配在一起,内衬正偏压多孔型挡板装置(6)的多孔挡板间距和多级磁场装置(4)的各级磁场长度相配合,内衬正偏压多孔型挡板装置(6)多孔挡板的外径小于多级磁场装置(4)的内径;内衬正偏压多孔型挡板装置(6)配合多级磁场装置(4)设计挡板上孔的类型、大小和挡板的间距,挡板通过螺栓连接和利用螺母进行位置固定,便于拆解组装和清理污染物;通过内衬正偏压多孔型挡板装置(6)多孔挡板中的孔径大小、类型变化及各级挡板的结构组合,实现对大颗粒的机械阻挡屏蔽;内衬正偏压多孔型挡板装置(6)的材料选择无磁性、耐清理的304不锈钢材料,所使用装置还包括偏压电源波形示波器(9),显示偏压电源(1)发出的脉冲电压和电流波形,偏压电源(1)输出脉冲为单脉冲、直流脉冲复合或多脉冲复合。
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