[实用新型]一种金刚石线切割硅片的表面处理装置有效
| 申请号： | 201720092784.4 | 申请日： | 2017-01-22 |
| 公开（公告）号： | CN206509856U | 公开（公告）日： | 2017-09-22 |
| 发明（设计）人： | 朱胜利 | 申请（专利权）人： | 朱胜利 |
| 主分类号： | B24B7/22 | 分类号： | B24B7/22;B24B41/06;B24B57/00 |
| 代理公司： | 西安智邦专利商标代理有限公司61211 | 代理人： | 陈广民 |
| 地址： | 710038 陕西省西安市灞桥区浐河*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本实用新型属于硅片表面处理技术领域，具体涉及一种金刚石线切割硅片的表面处理装置。该表面处理装置包括一个顶部开口的磨蚀槽和两个相对设置的第一磨蚀架、第二磨蚀架，磨蚀槽内填充有磨蚀颗粒悬浮液；第一磨蚀架上安装有吸附装置，第二磨蚀架上安装有磨蚀装置或者吸附装置；吸附装置用于吸附固定待处理的金刚石线切割硅片，磨蚀装置上设置有平板状或者圆辊状的磨蚀面。本实用新型通过配制磨蚀颗粒悬浮液，利用磨蚀颗粒的不规则棱角对金刚石线切割硅片表面进行磨蚀处理，本实用新型完全采用机械磨蚀进行处理，而不需要使用强腐蚀性的酸、碱等化学物质，安全环保，处理效率高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 金刚石 切割 硅片 表面 处理 装置 | ||
【主权项】：
一种金刚石线切割硅片的表面处理装置，其特征在于：包括一个顶部开口的磨蚀槽和两个相对设置的第一磨蚀架、第二磨蚀架，所述磨蚀槽内填充有磨蚀颗粒悬浮液；所述第一磨蚀架上安装有吸附装置，所述第二磨蚀架上安装有磨蚀装置或者吸附装置；所述吸附装置用于吸附固定待处理的金刚石线切割硅片，所述磨蚀装置上设置有平板状或者圆辊状的磨蚀面。
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