[实用新型]玻璃基板微观检查机有效
| 申请号： | 201720103400.4 | 申请日： | 2017-01-23 |
| 公开（公告）号： | CN206387743U | 公开（公告）日： | 2017-08-08 |
| 发明（设计）人： | 邓永松;丁力;刘磊;蔡杰;权永春 | 申请（专利权）人： | 江苏东旭亿泰智能装备有限公司;东旭光电科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/958 | 分类号： | G01N21/958 |
| 代理公司： | 北京英创嘉友知识产权代理事务所(普通合伙)11447 | 代理人： | 陈庆超,桑传标 |
| 地址： | 223800 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本公开涉及一种玻璃基板微观检查机，包括光学显微镜(1)和驱动该光学显微镜沿垂直于玻璃基板(7)传送方向的宽度方向移动的第一驱动装置(2)，所述玻璃基板微观检测机还包括照明装置(3)以及驱动所述照明装置(3)随所述光学显微镜(1)同步运动的第二驱动装置(4)，其中所述光学显微镜与所述照明装置(3)分别位于所述玻璃基板(7)的上下两侧，并且使得所述光学显微镜(1)的镜头(11)与所述照明装置在所述玻璃基板(7)上的投光点沿竖直方向对齐设置。由于配置了位于玻璃基板下方的与光学显微镜同步运动的照明装置，并且使投光点和镜头竖直对齐，能够大幅提升光学显微镜成像照片的清晰度，便于分析缺陷的种类。 | ||
| 搜索关键词： | 玻璃 微观 检查 | ||
【主权项】：
一种玻璃基板微观检查机，包括光学显微镜(1)和驱动该光学显微镜沿垂直于玻璃基板(7)传送方向的宽度方向移动的第一驱动装置(2)，其特征在于，所述玻璃基板微观检测机还包括照明装置(3)以及驱动所述照明装置(3)随所述光学显微镜(1)同步运动的第二驱动装置(4)，其中所述光学显微镜与所述照明装置(3)分别位于所述玻璃基板(7)的上下两侧，并且使得所述光学显微镜(1)的镜头(11)与所述照明装置在所述玻璃基板(7)上的投光点沿竖直方向对齐设置。
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