[实用新型]一种用于硅片清洗的清洗装置

摘要

一种用于硅片清洗的清洗装置，包括清洗水槽、设置在清洗水槽内的摆动底座和用于放置待清洗硅片的片盒架，片盒架通过联动插杆可拆卸的设置在摆动底座上，所述摆动底座包括用于承载片盒架的承物板，承物板底壁中部设置有带动承物板往复定格摆动的摆动轴，摆动轴由摆动气缸带动其摆动，所述片盒架由片台和固定安装在片台上且其上承载有待清洗硅片的片盒构成，片台上开设有插杆孔a，承物板上开设有插杆孔b，插杆孔a和插杆孔b在竖直方向上的投影相重合，联动插杆穿设在插杆孔a和插杆孔b内从而将片台和承物板连接在一起，进而使摆动底座带动片盒架往复摆动。本实用新型清洗效果更好，并降低返洗率。

主权项

一种用于硅片清洗的清洗装置，其特征在于：包括清洗水槽（1）、设置在清洗水槽（1）内的摆动底座（2）和用于放置待清洗硅片的片盒架（3），片盒架（3）通过联动插杆（4）可拆卸的设置在摆动底座（2）上，所述摆动底座（2）包括用于承载片盒架（3）的承物板（202），承物板（202）底壁中部设置有带动承物板（202）往复定格摆动的摆动轴（203），摆动轴（203）由摆动气缸（201）带动其摆动，所述片盒架（3）由片台（301）和固定安装在片台（301）上且其上承载有待清洗硅片的片盒（302）构成，片台（301）上开设有插杆孔a，承物板（202）上开设有插杆孔b，插杆孔a和插杆孔b在竖直方向上的投影相重合，联动插杆（4）穿设在插杆孔a和插杆孔b内从而将片台（301）和承物板（202）连接在一起，进而使摆动底座（2）带动片盒架（3）往复摆动，以使硅片在清洗水槽（1）内得到彻底清洗，所述联动插杆（4）由J形握杆（401）和与J形握杆（401）螺纹连接的销钉头（402）构成，J形握杆（401）直杆体的一端具有沿轴向的螺纹通孔（403），销钉头（402）上设置有与螺纹通孔（403）相配合的外螺纹（404）。