[实用新型]一种单晶炉转轴冷却装置

摘要

一种单晶炉转轴冷却装置，该单晶炉的坩埚在升降机构的带动下上升或下降并在下降后置于机架上，坩埚的底部固定连接有通过减速电机带动旋转的转轴以使转轴带动坩埚旋转，转轴的下端伸入冷却装置的水套内，以使水套内的冷却水对转轴进行冷却降温，所述冷却装置还包括固定安装在机架上的用以防止水套发生周向位移的限位架。本实用新型冷却效果好，且不易损坏，保证生产效率，降低生产成本。

主权项

一种单晶炉转轴冷却装置，该单晶炉的坩埚（1）在升降机构的带动下上升或下降并在下降后置于机架（7）上，坩埚（1）的底部固定连接有通过减速电机（8）带动旋转的转轴（2）以使转轴（2）带动坩埚（1）旋转，其特征在于：转轴（2）的下端伸入冷却装置的水套（3）内，以使水套（3）内的冷却水对转轴（2）进行冷却降温，水套（3）通过连接件与升降机构连接，进而实现水套（3）与转轴（2）同时上升或下降，在水套（3）上设置有分别与水套（3）贯通连接的循环进水管（5）和循环出水管（6），且循环出水管（6）位于循环进水管（5）的正上方，所述冷却装置还包括固定安装在机架（7）上的用以防止水套（3）发生周向位移的限位架（4），限位架（4）包括两个分别位于循环出水管（6）两侧的竖向限位板（401），两个竖向限位板（401）通过位于循环出水管（6）上方的横向连接板a（402）固定连接后形成限制循环出水管（6）和循环进水管（5）周向移动的限位框，两个竖向限位板（401）中靠近减速电机（8）的竖向限位板（401）向上延伸并与承担减速电机（8）重量的横向连接板b（403）的一端垂直固定连接，横向连接板b（403）的另一端延伸出机架（7）后与竖向连接板（404）的一端垂直固定连接，竖向连接板（404）的另一端与横向连接板c（405）的一端固定连接，横向连接板c（405）的另一端通过螺丝钉（406）固定在机架（7）上。