[实用新型]一种单晶炉电极稳定支撑装置有效
申请号: | 201720111527.0 | 申请日: | 2017-02-07 |
公开(公告)号: | CN206529541U | 公开(公告)日: | 2017-09-29 |
发明(设计)人: | 王松涛;韩子萌;刘海龙 | 申请(专利权)人: | 麦斯克电子材料有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B29/06 |
代理公司: | 洛阳公信知识产权事务所(普通合伙)41120 | 代理人: | 狄干强 |
地址: | 471000 河南省洛阳*** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | 一种单晶炉电极稳定支撑装置,所述单晶炉通过横梁支撑,在单晶炉的炉底盘上设置有向单晶炉供电的电极,电极的一侧设置有一个水冷管,电极通过稳定支撑装置设置在炉底盘上。本实用新型使电极位置固定不动,能更加稳定的支撑电极,保证生产效率,降低了绝缘磁环的更换频率,节省成本。 | ||
搜索关键词: | 一种 单晶炉 电极 稳定 支撑 装置 | ||
【主权项】:
一种单晶炉电极稳定支撑装置,所述单晶炉通过横梁(1)支撑,在单晶炉的炉底盘(2)上设置有向单晶炉供电的电极(3),电极(3)的一侧设置有一个水冷管,其特征在于:电极(3)通过稳定支撑装置(4)设置在炉底盘(2)上,稳定支撑装置(4)包括不锈钢连接板(401)和位于不锈钢连接板(401)下方的绝缘支撑板(402),不锈钢连接板(401)的一端通过多个螺丝钉a(403)与绝缘支撑板(402)的一端固定连接,不锈钢连接板(401)的另一端开设有长条形通孔(404)且通过穿设在该长条形通孔(404)上的螺丝钉b(405)与横梁(1)固定连接,通过调节螺丝钉b(405)在长条形通孔(404)内的位置从而实现调节稳定支撑装置(4)与电极(3)之间的距离,所述绝缘支撑板(402)由板状的连接段(4021)和条状的支撑段(4022)构成,其中,连接段(4021)的一侧通过弧形避让部(4023)与支撑段(4022)连接,另一侧通过导向槽部(4024)与支撑段(4022)连接,支撑段(4022)上开设有螺孔,螺孔内穿设有用以顶紧电极(3)的螺丝钉c(406)。
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