[实用新型]一种多晶硅还原尾气节能喷淋回收氯硅烷装置有效
| 申请号： | 201720118441.0 | 申请日： | 2017-02-09 |
| 公开（公告）号： | CN206529298U | 公开（公告）日： | 2017-09-29 |
| 发明（设计）人： | 刘德华;芮元庆;杨少敏 | 申请（专利权）人： | 南京合创工程设计有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/107 | 分类号： | C01B33/107 |
| 代理公司： | 南京天华专利代理有限责任公司32218 | 代理人： | 徐冬涛 |
| 地址： | 210048 江苏省南京市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种多晶硅还原尾气节能喷淋回收氯硅烷装置，其包括喷淋洗涤塔、气气换热器、冷冻水冷却器、深冷器、洗涤气气液分离罐、液液换热器、洗涤液循环泵和冷凝液回收泵，所述喷淋洗涤塔的进气口连接还原尾气的出口，喷淋洗涤塔的出气口依次连接相互级联的气气换热器、冷冻水冷却器和深冷器，同时气气换热器、冷冻水冷却器和深冷器还分别与洗涤气气液分离罐相连，洗涤气气液分离罐的出口通过所述冷凝液回收泵与液液换热器相连，所述液液换热器的两端分别与喷淋洗涤塔的底部出液口和上部进液口相连接，并通过设置洗涤液循环泵构成洗涤液循环回路。本实用新型采用常温淋洗设备，可大大减少能耗，节省设备投资费用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多晶 还原 尾气 节能 喷淋 回收 硅烷 装置 | ||
【主权项】：
一种多晶硅还原尾气节能喷淋回收氯硅烷装置，其特征在于：包括喷淋洗涤塔（1）、气气换热器（2）、冷冻水冷却器（3）、深冷器（4）、洗涤气气液分离罐（5）、液液换热器（7）、洗涤液循环泵（6）和冷凝液回收泵（8），所述喷淋洗涤塔（1）的进气口连接还原尾气的出口，喷淋洗涤塔（1）的出气口依次连接所述气气换热器（2）、冷冻水冷却器（3）和深冷器（4），气气换热器（2）、冷冻水冷却器（3）和深冷器（4）相互级联，同时气气换热器（2）、冷冻水冷却器（3）和深冷器（4）还分别与所述洗涤气气液分离罐（5）相连，洗涤气气液分离罐（5）的出口通过所述冷凝液回收泵（8）与液液换热器（7）相连，所述液液换热器（7）的两端分别与喷淋洗涤塔（1）的底部出液口和上部进液口相连接，并通过设置洗涤液循环泵（6）构成洗涤液循环回路，液液换热器（7）的出口连接回收硅烷去精馏装置。
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