[实用新型]一种氖气回收提纯装置

摘要

本实用新型提供了一种氖气回收提纯装置，包括依次连接的收集罐、过滤设备、压缩机化学反应器、低温吸附装置，然后粗氖气通过二级冷却设备和闪蒸设备进行分离，获得高纯度氖气。本实用新型是一种工艺简单、使用方便的从工业排放气体中回收氖气，并提纯、制备高纯度氖气的装置，可以回收半导体厂使用的氖气，采用较便宜的液氮作为冷源，利用高真空和冷屏绝热，利用吸附法和低温精馏法分离氖气中的杂质，用较低的成本，提纯氖气。

主权项

一种氖气回收提纯装置，其特征在于，包括：收集罐，用于氖工业废气的收集；过滤设备，用于对氖工业废气中的颗粒杂质进行过滤；压缩机，对过滤后的氖工业废气进行压缩；其中：所述过滤设备独立设置，气体管道从收集罐出口依次连接过滤设备和压缩机；或者，过滤设备集成于所述收集罐内气体流路中，收集罐气体出口连接所述压缩机；化学反应器，压缩机出口通过气体管道连接至所述化学反应器，所述化学反应器内设置有反应床，用于放置化学反应试剂；一级冷却设备，包括气体流动通道和包围在所述气体流动通道外的制冷单元，所述制冷单元是制冷片或冷却剂流动管道；化学反应器气体出口连接至以及所述一级冷却设备的气体流动通道入口；一级吸附纯化设备，包括气体入口管道、气体出口管道、一级连通所述气体入口管道和气体出口管道的吸附剂容纳腔，一级冷却设备气体流动通道出口连接至所述一级吸附纯化设备的气体入口管道；二级冷却设备，包括气体流动通道和包围在所述气体流动通道外的制冷单元，所述制冷单元是制冷片或冷却剂流动通道；一级吸附纯化设备气体出口管道连接至所述二级冷却设备的气体流动通道入口；闪蒸设备，通过气体管道连通所述二级冷却设备的出口；二级吸附纯化设备，包括气体入口管道、气体出口管道、一级连通所述气体入口管道和气体出口管道的吸附剂容纳腔，闪蒸设备气体出口连接至所述二级吸附纯化设备的气体入口管道。