[实用新型]一种管式PECVD石墨舟冷却房有效
| 申请号： | 201720131178.9 | 申请日： | 2017-02-14 |
| 公开（公告）号： | CN206591181U | 公开（公告）日： | 2017-10-27 |
| 发明（设计）人： | 袁中存;党继东 | 申请（专利权）人： | 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司;盐城阿特斯协鑫阳光电力科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/56 | 分类号： | C23C16/56 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司11332 | 代理人： | 张海英,林波 |
| 地址： | 215129 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种管式PECVD石墨舟冷却房，包括冷却房，所述冷却房的内部设置有冷却风扇，所述冷却房的内部相对两侧壁对称设置有机械手臂移动导轨，所述机械手臂移动导轨的内侧端开设有移动槽，所述移动槽中设置有机械手臂，所机械手臂能够沿着所述移动槽移动，待冷却的石墨舟的两端分别开设有卡槽，一个所述机械手臂插入对应侧的一个所卡槽中配合，以将石墨舟悬挂于所述冷却风扇的上方。该管式PECVD石墨舟冷却房，能够明显改善石墨舟的冷却效果，减少冷却时间，提升产能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 pecvd 石墨 冷却 | ||
【主权项】：
一种管式PECVD石墨舟冷却房，包括冷却房(5)，所述冷却房(5)的内部设置有冷却风扇(4)，其特征在于，所述冷却房(5)的内部相对两侧壁对称设置有机械手臂移动导轨(8)，所述机械手臂移动导轨(8)的内侧端开设有移动槽，所述移动槽中设置有机械手臂(7)，所机械手臂(7)能够沿着所述移动槽移动，待冷却的石墨舟(1)的两端分别开设有卡槽，一个所述机械手臂(7)插入对应侧的一个所卡槽中配合，以将石墨舟(1)悬挂于所述冷却风扇(4)的上方。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
