[实用新型]一种靶材真空清洗隔离装置有效
| 申请号： | 201720134163.8 | 申请日： | 2017-02-15 |
| 公开（公告）号： | CN206428319U | 公开（公告）日： | 2017-08-22 |
| 发明（设计）人： | 张建明;金章斌;邓晓良 | 申请（专利权）人： | 苏州吉恒纳米科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市工业园*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种靶材真空清洗隔离装置，包括挡板、上支撑结构和下支撑结构，该挡板设置于真空腔体内，挡板通过上支撑结构设置于真空腔体的上腔壁上，挡板通过下支撑结构设置于真空腔体的下腔壁上，所述挡板的后方设有靶材，上支撑结构包括气动元件、N极磁铁和S极磁铁，真空腔体的上腔壁上开设有开孔，该开孔的上侧设有非金属件，N极磁铁位于非金属件的上方，该N极磁铁与气动元件连接，S极磁铁位于开孔的下方，S极磁铁与挡板的上端相接，下支撑结构为一轴承支撑件，轴承支撑件的内腔为锥形腔，挡板的下端设有一连接轴，连接轴连接于轴承支撑件的内腔中。本实用新型可以保证在靶材清洗时不会污染工件，且也可以保证真空腔室的密封性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空 清洗 隔离 装置 | ||
【主权项】：
一种靶材真空清洗隔离装置，其特征在于：包括挡板、上支撑结构和下支撑结构，该挡板设置于真空腔体内，所述挡板通过上支撑结构设置于真空腔体的上腔壁上，挡板通过下支撑结构设置于真空腔体的下腔壁上，所述挡板的后方设有靶材，所述上支撑结构包括气动元件、N极磁铁和S极磁铁，真空腔体的上腔壁上开设有开孔，该开孔的上侧设有非金属件，所述N极磁铁位于非金属件的上方，该N极磁铁与气动元件连接，所述S极磁铁位于开孔的下方 ，该S极磁铁与所述挡板的上端相接，所述下支撑结构为一轴承支撑件，该轴承支撑件的内腔为锥形腔，所述挡板的下端设有一连接轴，该连接轴连接于轴承支撑件的内腔中。
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