[实用新型]一种压力传感器的封装结构有效
申请号: | 201720135659.7 | 申请日: | 2017-02-15 |
公开(公告)号: | CN206590896U | 公开(公告)日: | 2017-10-27 |
发明(设计)人: | 闫文明 | 申请(专利权)人: | 歌尔科技有限公司 |
主分类号: | B81B7/02 | 分类号: | B81B7/02;B81C1/00;H01L23/31;G01L1/00 |
代理公司: | 北京博雅睿泉专利代理事务所(特殊普通合伙)11442 | 代理人: | 王昭智,马佑平 |
地址: | 266104 山东省青岛*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 一种压力传感器的封装结构,包括壳体,所述壳体具有一端开口的容腔;还包括设置在壳体容腔中的MEMS压力传感器芯片以及ASIC芯片;还包括填充在壳体容腔内并将所述MEMS压力传感器芯片、ASIC芯片封装起来并作为外界压力传导媒介的胶体。本实用新型的封装结构,通过胶体的变形将外界的压力变化传递至MEMS压力传感器芯片上,从而使MEMS压力传感器芯片输出相应的电信号,其避免了MEMS压力传感器芯片与外界的直接接触,特别是MEMS压力传感器芯片在用于腐蚀、脏污或水汽环境时,可有效避免对MEMS压力传感器芯片及ASIC芯片的损伤。该种封装方式可以达到很高的防水等级,适用于各种汽车、工业或其它消费领域。 | ||
搜索关键词: | 一种 压力传感器 封装 结构 | ||
【主权项】:
一种压力传感器的封装结构,其特征在于:包括壳体,所述壳体具有一端开口的容腔;还包括设置在壳体容腔中的MEMS压力传感器芯片(2)以及ASIC芯片(1);还包括填充在壳体容腔内并将所述MEMS压力传感器芯片(2)、ASIC芯片(1)封装起来并作为外界压力传导媒介的胶体(6)。
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