[实用新型]一种可屏蔽翻转运输装置有效
| 申请号： | 201720139984.0 | 申请日： | 2017-02-16 |
| 公开（公告）号： | CN206505902U | 公开（公告）日： | 2017-09-19 |
| 发明（设计）人： | 濮一鹏 | 申请（专利权）人： | 无锡先导智能装备股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677;H01L21/683;H01L21/66 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 214028 江苏省无锡*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种可屏蔽翻转运输装置，包括上游传输装置和下游传输装置，其特征在于包括用于将上游传输装置上的硅片翻转180°放至下游传输装置上的翻转机构，所述翻转机构固设于屏蔽机构，所述屏蔽机构用于驱动翻转机构移动便于上游传输装置上的硅片传送至下有传输装置；所述翻转机构包括转臂、吸盘，所述吸盘固设于转臂，所述转臂与驱动转臂翻转运动的旋转驱动机构连接；所述屏蔽机构包括支撑脚、以及用于驱动翻转机构沿支撑脚上下滑动的上下驱动机构。本实用新型可以满足对硅片的翻转需求，同时在特殊需要时也能够不对硅片进行翻转且不妨碍硅片的传输，提高硅片流转效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 屏蔽 翻转 运输 装置 | ||
【主权项】：
一种可屏蔽翻转运输装置，包括上游传输装置和下游传输装置，其特征在于：包括用于将上游传输装置上的硅片翻转180°放至下游传输装置上的翻转机构，所述翻转机构固设于屏蔽机构，所述屏蔽机构用于驱动翻转机构移动便于上游传输装置上的硅片传送至下有传输装置；所述翻转机构包括转臂、吸盘，所述吸盘固设于转臂，所述转臂与驱动转臂翻转运动的旋转驱动机构连接；所述屏蔽机构包括支撑脚、以及用于驱动翻转机构沿支撑脚上下滑动的上下驱动机构。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
