[实用新型]一种磁场可调的磁控溅射涂层系统

摘要

本实用新型公开了一种磁场可调的磁控溅射涂层系统，包括真空腔室、靶材、磁铁、步进电机、直流脉冲电源和PLC单元，靶材设置于真空腔室中，磁铁设置于靶材的后方，步进电机可以带动磁铁前后移动，直流脉冲电源具有负极、正极、电源控制端口和电源通信端口，PLC单元包括CPU、通信模块、输入模块和输出模块，直流脉冲电源的电源通信端口与PLC单元的通信模块连接，电源控制端口与PLC单元的输出模块连接，步进电机具有电机控制端口和电机通信端口，PLC单元的通信模块与步进电机的电机通信端口连接，PLC单元的输出模块与步进电机的电机控制端口连接。本实用新型可以实现对磁场强度的调控，以控制气体离化率、溅射率及沉积速率，保证涂层的一致性和均匀性。

主权项

一种磁场可调的磁控溅射涂层系统，其特征在于：包括真空腔室、靶材、磁铁、步进电机、直流脉冲电源和PLC单元，靶材设置于真空腔室中，磁铁设置于靶材的后方，步进电机连接有齿轮传动机构，该齿轮传动机构连接有连杆机构，连杆机构又与磁铁连接，步进电机通过齿轮传动机构和连杆机构的配合带动磁铁前后移动，该直流脉冲电源具有负极、正极、电源控制端口和电源通信端口，真空腔室上设有阴极和阳极，直流脉冲电源的负极与阴极连接，直流脉冲电源的正极与阳极连接，该PLC单元包括CPU、通信模块、输入模块和输出模块，直流脉冲电源的电源通信端口通过profibus总线与PLC单元的通信模块连接，直流脉冲电源的电源控制端口通过profibus总线与PLC单元的输出模块连接，所述步进电机具有电机控制端口和电机通信端口，PLC单元的通信模块通过profibus总线与步进电机的电机通信端口连接，PLC单元的输出模块通过profibus总线与步进电机的电机控制端口连接。