[实用新型]一种自动点火的微波等离子体炬装置

摘要

本实用新型提供一种自动点火的微波等离子体炬装置，由外管、中管、内管、隔圈、微波耦合接口、外管微波开口、耦合杆、耦合环、反射端面、调节活塞组成，该微波等离子体炬由三管同轴的一段开放的金属同轴谐振腔组成，利用微波能在开口端形成等离子体焰炬。本实用新型改变了微波等离子体炬的点火方式，通过调整炬管的内管相对位置，使得炬管可以不需要借助额外的装置实现自动点火，从而使得微波等离子体炬装置易用性大大增强，既摆脱了高压点火针对微波屏蔽结构设计的影响，又简化了装置结构，增强装置的可靠性和稳定性。本实用新型所述的微波等离子体炬用于原子发射光谱分析用的等离子体源，也可用于化学和测量技术领域的等离子体源。

主权项

一种自动点火的微波等离子体炬装置，由外管(1)、中管(2)、内管(3)、隔圈(4)、微波耦合接口(5)、外管微波开口(6)、耦合杆(7)、耦合环(8)、反射端面(9)、调节活塞(10)组成，外管(1)、中管(2)、内管(3)具有金属的三管同轴结构，中管(2)和内管(3)之间设有隔圈(4)，耦合环(8)设置在中管(2)外壁，微波耦合接口(5)设在外管(1)上形成外管微波开口(6)，耦合杆(7)固定在耦合环(8)上，并位于外管微波开口(6)间，在外管(1)和中管(2)之间设有反射端面(9)，形成一端开放的同轴谐振腔，反射端面(9)与调节活塞(10)连接在一起，其特征在于，内管(3)的端口平面突出谐振腔的开放端平面。