[实用新型]用于扫描电子显微镜的预倾角样品座

摘要

本实用新型涉及一种用于扫描电子显微镜的预倾角样品座，包括基座及预倾角支撑柱，预倾角支撑柱的倾角各不相同，对应角度分别为15°、45°、60°，根据断口的倾斜角状况，选择与之匹配的预倾角支撑柱，将样品的断面调至水平状态（与电子束光源垂直），再用双面导电胶（如碳胶、铜胶、铝胶）粘贴在支撑柱的斜坡面上，直接进行形貌观察、分析与测量。本实用新型在原有的样品座上增加了预倾角立柱，避免了现有技术中观察断口样品时需对样品台进行大角度倾斜并反复调整，直至断面与电子束光源垂直，节省了工时，提高了工作效率；避免了设备的样品台进行大角度倾斜时撞击接收探头，从而保证了扫描电子显微镜的安全使用，并提高了设备的服役寿命。

主权项

一种用于扫描电子显微镜的预倾角样品座，包括样品基座（3），样品基座（3）的底部设置用于连接SEM样品台的插槽座（1）；其特征是：所述样品基座（3）的边缘分布多个预倾角支撑柱（6），预倾角支撑柱（6）朝向样品基座（3）中心的一侧为用于放置断口样品（5）的倾斜面；所述预倾角支撑柱（6）的倾斜面的倾角分别与不同断口样品（5）的断面的倾斜度相一致，从而将设置在倾斜面上的断口样品（5）的断面呈水平状态放置。