[实用新型]单晶炉加热器及单晶炉加热系统有效
| 申请号： | 201720150898.X | 申请日： | 2017-02-20 |
| 公开（公告）号： | CN207062418U | 公开（公告）日： | 2018-03-02 |
| 发明（设计）人： | 王会敏;张浩强;曹祥瑞;颜超;陈二星;王东;孔哲;何志国 | 申请（专利权）人： | 邢台晶龙电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/14 | 分类号： | C30B15/14;C30B29/06 |
| 代理公司： | 石家庄国为知识产权事务所13120 | 代理人： | 米文智 |
| 地址： | 054001 河*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本实用新型适用于直拉型单晶硅制备装置技术领域，提供了一种单晶炉加热器及单晶炉加热系统。本实用新型的单晶炉加热器包括下发热体、与所述下发热体相连的加热器脚和上发热体，所述上发热体与所述下发热体可拆卸地连接。本实用新型的单晶炉加热系统包括坩埚、保温套、一个单晶炉加热器和一个电源系统。本实用新型提供的单晶炉加热系统，仅使用一个单晶炉加热器和一个电源系统，就可应用在大尺寸的热场，较一般的单电源单晶炉加热系统产量高、品质高，较一般的双电源单晶炉加热系统功率小，结构简单，操作简便。 | ||
| 搜索关键词： | 单晶炉 加热器 加热 系统 | ||
【主权项】：
单晶炉加热器，包括下发热体和与所述下发热体相连的加热器脚，其特征在于：还包括上发热体和用于连接所述上发热体和所述下发热体的连接件，所述上发热体与所述下发热体可拆卸地连接；所述连接件为导电体材质，所述连接件与所述上发热体、所述下发热体螺纹连接；所述连接件的横截面为“几”形，所述连接件、所述上发热体和所述下发热体都设有通孔，所述连接件与所述上发热体、所述下发热体通过螺栓、螺母连接。
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